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集成電路芯片用純水設備

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基本情況


導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、大規(guī)模集成電路需用大量的純水、高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度高,線寬窄,對水質(zhì)的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質(zhì)技術分為五個行業(yè)等級,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質(zhì)。


工藝流程圖



方案優(yōu)勢


1、系統(tǒng)采用新水處理技術雙級RO+EDI+混床模塊化設計,嚴格按新技術設計標準,確保水質(zhì)穩(wěn)定,長效運行。

2、通過專業(yè)技術設計,確保系統(tǒng)短時停機及長時間停機時水質(zhì)保持穩(wěn)定。

3、通過專業(yè)技術保證終端出水恒壓、水質(zhì)穩(wěn)定。

4、通過完善的技術大限度的提高系統(tǒng)回收率,降低能耗和運行成本。

5、采用海德能ESPA2超低壓膜,運行穩(wěn)定,能耗低。

6、采用PH調(diào)節(jié)系統(tǒng)以確保水溫下降或原水PH值偏低時EDI出水水質(zhì)。

7、配備專門的有化學清洗系統(tǒng),可定期對反滲透進行化學清洗,以確保系統(tǒng)穩(wěn)定運行。

8、配備濃水置換專業(yè)技術,防止膜系統(tǒng)受到微生物污染。

9、EDI及后段出水采用超純水專用管道,大限度的保證出水水質(zhì)。

10、EDI水箱采用氮封裝置,以確保終端水質(zhì)穩(wěn)定及延長核能混床壽命。

11、采用PLC加觸摸屏控制系統(tǒng),并采用進口電氣原件,操作方便,運行穩(wěn)定。

12、電子半導體行業(yè)用超純水設備主體材料全部采用行業(yè)內(nèi)國際知名品牌,保質(zhì)保量,并按配置設計。

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