微量污染也會(huì)導(dǎo)致器件失效。清洗的目的在于清除表面污染雜質(zhì)，包括有機(jī)物和無(wú)機(jī)物。這些雜質(zhì)有的以原子狀態(tài)或離子狀態(tài)，有的以薄膜形式或顆粒形式存在于硅片表面。有機(jī)污染包括光刻膠、有機(jī)溶劑殘留物、合成蠟和人接觸器件、工具、器皿帶來(lái)的油脂或纖維。無(wú)機(jī)污染包括重金屬金、銅、鐵、鉻等，嚴(yán)重影響少數(shù)載流子壽命和表面電導(dǎo)；堿金屬如鈉等，引起嚴(yán)重漏電；顆粒污染包括硅渣、塵埃、細(xì)菌、微生物、有機(jī)膠體纖維等，會(huì)導(dǎo)致各種缺陷。

1、主要零部件均采用世界名牌産品，經(jīng)CAD設(shè)計(jì)，技術(shù)先進(jìn)，性能可靠、産水性能優(yōu)良。

2、前置預(yù)處理保護(hù)裝置，確保高壓泵及反滲透膜不受硬物損壞。

3、脫鹽率高，運(yùn)行壓力低的卷式復(fù)合膜提高了系統(tǒng)效率，并除低了運(yùn)行成本。

4、産品濃縮水各設(shè)有流量計(jì)，以監(jiān)視并調(diào)節(jié)運(yùn)行出水量及系統(tǒng)回收率。

5、在線電導(dǎo)儀表連續(xù)監(jiān)測(cè)産品水質(zhì)，帶有設(shè)定值和報(bào)警。

6、進(jìn)水及排水系統(tǒng)壓力表監(jiān)測(cè)反滲透壓差，提示清洗時(shí)間，全面的系統(tǒng)監(jiān)視，自動(dòng)的儀表顯示。

7、靈敏的高壓、低壓開(kāi)關(guān);防止在異常狀況下對(duì)設(shè)備的損壞，確保系統(tǒng)的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

8、硅材料清洗用超純水處理設(shè)備采用先進(jìn)的膜保護(hù)系統(tǒng)定時(shí)沖洗膜表面，降低污染速度，延長(zhǎng)膜使用壽命。